Standart statik akışkan yatak, gaz enjeksiyonu için bir plenum, homojen hava dağılımı için bir
akışkanlaştırma plakası ve gaz deşarjı için bir bacadan oluşur. Akışkanlaştırma plakası proseslere ve
uygulamalara bağlı olarak delikli saclar, gözenekli metal, yönlendirilmiş hava jeti, nozüller gibi farklı
tiplerde olabilir. Plenum odası, işlemenin her aşamasında optimum akışkanlaştırma hızını sağlamak
için genellikle birkaç bölüme ayrılır.
İşleme gazının sıcaklığı, her plenum bölümü için farklı olabilir. Son bölüm bir soğutma bölgesi olarak
tasarlanabilir. İşlenen ürün, ayarlanabilir bir savak (tipik olarak 0 ila 300 mm) yardımıyla taşarak
boşaltılır.

Share on facebook
Share on twitter
Share on linkedin
Share on whatsapp